Hệ ăn mòn khô (OXYGEN PLASMA) In
Viết bởi Admin   
Thứ ba, 26 Tháng 4 2011 14:12

Hệ ăn mòn khô (OXYGEN PLASMA)

Mô tả thiết bị:

  • Ăn mòn SiO2, Si3N4…

  • Hãng sản xuất: ĐH Twente, Hà lan. 

  • Năm sản xuất: 1998. Lắp đặt và sử dụng: 2005

Thông số kỹ thuật:

  • Chân không tối đa: 1. 10-3 Torr.

  • 2 buồng, 1 nguồn cao tần công suất 500W

Cán bộ phụ trách

                KTV. Nguyễn Văn Toán

Từ khóa: Hệ ăn mòn khô, OXYGEN PLASMA