Hệ đo độ dày màng mỏng (Alpha - Step Unit) In
Viết bởi Vu Anh Minh   
Thứ ba, 16 Tháng 9 2008 16:44

Thiết bị đo độ dầy  (Alpha - Step Unit)

Mô tả thiết bị:

  • Đo bề dầy màng mỏng trên các vật liệu khác nhau

  • Hãng sản xuất: KLA Tencor - Mỹ

  • Năm sản xuất 1994

Thông số kỹ thuật:

  • Phương pháp đo: quét hai chiều

  • Chế độ lấy bậc: tự động hoặc bằng tay

  • Kích thước mẫu : 1 cm2 đến 10 cm2

Cán bộ phụ trách:

     KTV. Nguyễn Văn Toán


Từ khóa: Hệ đo độ dày màng mỏng, Alpha - Step Unit, KLA Tencor

 


Lần cập nhật cuối ( Thứ ba, 26 Tháng 4 2011 11:34 )