Skip to content
Bạn đang ở: Trang chủ Giới thiệu Cơ sở vật chất TB ngành bán dẫn Danh mục các thiết bị mới trang bị của ITIMS
Danh mục các thiết bị mới trang bị của ITIMS
Chủ nhật, 04 Tháng 12 2016 12:52

Danh mục các thiết bị mới trang bị của ITIMS

TT

Tên thiết bị và đặc tính kỹ thuật cơ bản

Số lượng (chiếc)

Model và xuất xứ thiết bị

1

Thiết bị điều hoà không khí cho công nghệ MEMS

* Giàn Lạnh: 1 giàn

- Công suất: 147.000 Btu/h

- Điện áp: 3 pha 380 VAC/50 Hz

- Dải lạnh: 14 oCWB-24 oCWB

- Công suất tiêu thụ: 1.55 kW

- Dòng: 3.8 A

- Tốc độ thổi (quạt): 120 CMM

- Áp suất tĩnh: 150 Pa

- Kích thước ngoài: 595x1947x764 (mm)

- Vỏ: thép mạ kẽm

- Kiểu trao đổi nhiệt: cạnh ngang

- Độ ồn: 52 dB(A)

- Trọng lượng tịnh: 130 Kg

- Filter lọc khí: PAC-KE220AF

- Điều khiển từ xa: PAR-21MAA

* Giàn Nóng: 2 giàn

- Điện áp: 3 pha 380 VAC/50 Hz

- Công suất tiêu thụ: 6.65x2 kW

- Dòng: 13x2 A

- Dòng khởi động: 108 A

- Tốc độ thổi (quạt): 160x2 CMM

- Máy nén: kiểu xoáy ốc kín công suất: 5.6x2 kW

- Kích thước ngoài:(1480x1047x547)x2 (mm)

- Vỏ: phủ nhựa thông polyester

- Kiểu trao đổi nhiệt: cạnh ngang

- Độ ồn: 66 dB(A)

- Trọng lượng tịnh: 197x2 Kg

- Hệ thống bảo vệ an toàn: Chống áp suất cao/thấp/OCR

1

Model: PE-16GAK,

Hãng sản xuất: Mitsubishi

Xuất xứ: Thái Lan

2

Hệ đo và hiển thị chân không

2.1. Vacuum Gauge Controller: Modern : Center two

- Kích thước: 106.3mmX128.5mmX207mm (WHD).

- Trọng lượng: 1.04kg

- Môi trường làm việc: 5- 50oC

Độ ẩm: 80%

- 4 phím điều khiển, cổng ghép nối RS232.

- Điện áp: 90 – 250VAC

- Thích hợp cảm biến chân không loại: PTR 225

- Nguồn nuôi cho cảm biến: 24VDC.

- Đơn vị đo: mbar, Pa, Torr, Micron.

- Tương thích các loại cảm biến.

- Chuyển đổi ADC: 16bit

- Đầu ra: điện áp 0 -10V

- Hiển thị LCD

- Dải đo phụ thuộc vào cảm biến chân không.

Đo và hiển thị chân không cao >10-7 mbar

2.2. Cảm biến chân không (PENNING  Transmitter) Moden  PTR225:

- Dải đo: 10-9 – 10-2 mbar/torr

- Nguyên lý đo: Ion hóa ca tốt lạnh đo PENNING.

- Nguồn nuôi: 24VDC

- Công suất : 2W

- Có thể tháo lắp cơ động

- Đầu nối: DN 25KF hoặc DN 40CF.

- Vật liệu: thép không rỉ

- Điện áp hoạt động: 1.6kV

- Điện áp ra: 0 -10.6V

- Điện trở tải: > 10kΩ

- Tín hiệu đo: 0.66V đến 10V

- Kích thước: 80 x 126 x 73 mm (WxHxD)

- Trọng lượng: 500 g

- Điều kiện làm việc: -20oC đến 50oC. Độ ẩm <95%.

- 10 m cáp nối

- 02 FCC, 68 nút.

- Đĩa ca tốt thay thế (5 chiếc)

- Clamp loại DN 20/25 KF

- DN 25 KF (Al) centering ring

1

Model: Center Two và PTR225

Hãng: Oerlikon Leybold

Xuất xứ: Đức

3

Hệ thống lọc và làm tươi không khí phòng vi chế tạo



3.1

Bag Filter 1

- Tốc độ gió bề mặt: 1.5 (m/s)

- Hiệu suất lọc bụi: Em=90-95%

- Độ chênh áp ban đầu: 135 Pa

- Độ chênh áp cuối khuyến cáo thay thế: 450 Pa

- Nhiệt độ giới hạn: 70 oC

- Kích thước: 599x290x500(mm)@3400 m3/h

- Kích thước: 915x610x149(mm)@1500 m3/h

20

- Hãng sản xuất: Vietair

- Xuất xứ: Việt Nam

3.2

Bag Filter 2

- Tốc độ gió bề mặt: 1.5 (m/s)

- Hiệu suất lọc bụi: Em=90-95%

- Độ chênh áp ban đầu: 135 Pa

- Độ chênh áp cuối khuyến cáo thay thế: 450 Pa

- Nhiệt độ giới hạn: 70 oC

- Kích thước: 599x595x500(mm);3400 m3/h

10

- Hãng sản xuất: Vietair

- Xuất xứ: Việt Nam

3.3

Hepa Filter

- Hiệu suất lọc bụi: Em=99.99%; 0.3µm

- Tốc độ gió bề mặt: 0.75 (m/s)

- Độ chênh áp ban đầu: 250Pa

- Độ chênh áp cuối khuyến cáo thay thế: 750 Pa

- Nhiệt độ giới hạn: 75 oC

- Khung tôn mạ kẽm

- Gasket cửa gió vào

- Face Guard 2 mặt

10

- Hãng sản xuất: Vietair

- Xuất xứ: Việt Nam

4

Bơm chân không Turbo dùng cho thiết bị ăn mòn khô ICP-RIE-10iP

Model   FT-480W

1

Model : FT-480W (JIS VG 150)

Hãng: Mitsubishi

Xuất xứ: Nhật Bản

4.1

Máy bơm:

-Kiểu họng hút: đầu vào JIS VG 150; đầu ra NW25

-Tốc độ bơm (Lít/giây): N2- 480; H2- 340

- Hệ số nén cực đại: N2- >1010; H2->104

- Xử lý bề mặt của cánh quạt quay (rotor blade): Tấm Niken

- Áp suất cực đại ở đầu vào (ứng với dòng khí cực đại) (Pa): 43 (N2)

- Áp suất cực đại ở đầu ra (ứng với dòng khí cực đại)  (Pa): 410

- Áp suất cực đại ở đầu ra (với dòng khí 100 sccm "cm3/phút") (Pa): 930

- Tỷ lệ dòng khí N2 cực đại, sccm (Pa Lít/giây): 850 (1430)

- Tỷ lệ dòng khí Ar cực đại, sccm (Pa Lít/giây): 370(620) (nhiệt độ quay cực đại: 120oC)

- Áp suất cơ sở  (Pa): 10-8

- Tốc độ quay (vòng/phút): 45000

- Thời gian tăng/giảm (phút): 4

- Kiểu đệm từ (Bearing type): Tất cả các đệm từ đều hoạt động

- Nhiệt độ    (oC): ≤120

- Làm lạnh: Nước

- Đầu làm lạnh/Tốc độ của dòng nước làm lạnh (Lít/phút): Rc 3/8 / ≥3

- Áp suất suy giảm của nước làm lạmh giữa đầu vào và đầu ra (Mpa): ≥0.05

- Đầu lọc khí/Tốc độ, sccm (Pa Lít/giây): NW 10/10 (17)

- Khối lượng      (kg): ~ 17

- Khuyến nghị dùng bơm sơ cấp (Lít/phút): 290

- Ngưỡng tiếng ồn   (dBA): 64

1


4.2

Bộ điều khiển áp suất cho bơm Turbo của hãng VAT. Adaptive Pressure Controller (PM-4&5 for Gate Valve Control System)

-         Series 64.1

-         Mã sản phẩm: FABR.NO. 641PM-.6..-….

-         Sofware version: 64PM.3l.00

1

Hãng VAT – Thụy Sỹ.

5

Hệ thống lọc cho máy tạo khí nitơ

Tạo nitơ khí có độ sạch 99.99%

- Bộ lọc : loại Fillter K18AO (15 chiếc)

- Bộ lọc: loại  Fillter K18ACS (5 chiếc)


Hãng: Ingersoll Range

6

Bộ nguồn cho nam châm điện

Đầu ra dòng và áp: ± 135A, ± 75V, 7.5 KW.

Tốc độ tăng dòng: 10A/s

Điện trở tải: nhỏ nhất 0.25 Ohm

Độ ổn định dòng : ± (0.01% of reading + 0.01% of full scale range)

Nhiễu : ± (0.001% of reading + 0.001% of full scale range) đỉnh – đỉnh ở tần số 0.1Hz và 1Hz.

Độ phẳng điện áp: 5mV + 0.01% full scale range.

Đặt đầu ra: Theo giới hạn dòng và áp.

Đầu ra theo chương trình: theo chương trình máy tính (đầu nối BR2)

Quan sát điện áp ra: ±10V full scale (đầu nối BR2 )

Quan sát dòng đầu ra: ±10V full scale (đầu nối BR2 )

Đầu nối dòng đầu ra: 9.5 mm

Công tắc Tắt/bật: Nằm phía trước.

Báo lỗi:

      -     Hỏng transistor công suất

-         Bảo vệ giới hạn dòng

-         Bảo vệ ngắn mạch

-         Bảo vệ quá nhiệt

-         Bảo vệ quá tải

-         Bảo vệ quá công suất

Công suất đầu vào: 11A/pha với điện áp 380/400VAC giữa các pha. Tần số dòng điện 50-60Hz.

Nước làm mát:8 lít/phút, áp lực nước 0.12MPa (17psi)

Đầu nối nước làm mát: 10mm

Môi trường làm việc: 10oC đến 40oC, độ ẩm 80%.

Cơ cấu xe đẩy với 4 bánh

Kích thước và trọng lượng: 1.35mx0.7mx0.6m (HxDxW), 295kg.

1

Model: 648;

Hãng Lakeshore

Xuất xứ: Mỹ

7

Khuếch đại Lock-in DSP

Khuếch đại Lock-in hai kênh:

- Tín hiệu vào: đơn hoặc vi sai

- Độ nhạy: 2nV đến 1V

- Tín hiệu dòng: 106 – 108 V/A

- Trở kháng vào: Điện áp: 10MΩ+25pF, DC hoặc AC.

Dòng: 1kΩ

- Độ chính xác khuếch đại: ± 1%

- Nhiễu: 6 nV/√Hz at 1 kHz

0.13 pA/√Hz at 1 kHz (106

V/A)

0.013 pA/√Hz at 100 Hz (108

V/A)

Lọc nguồn nuôi: 50/60 Hz và 100/120 Hz (Q = 4 )

- CMRR: 100 dB to 10 kHz, decreasing by

6 dB/oct above 10 kHz

- Dynamic reserve >100 dB (without prefilters).

- Độ ổn định <5 ppm/°C

- Sai số pha <1°

- Sai số <0.001°

 - Tính trực giao:  90° ± 0.001°

- Nhiễu pha:<0.0001° rms ở 1 kHz

- External ref. 0.005° rms ở 1 kHz (100 ms timeconstant, 12 dB/oct)

- Phase drift <0.01°/°C dưới 10 kHz,<0.1°/°C trên 10 kHz

- Nhiễu âm: 2F, 3F, ... nF đến 102 kHz (n < 19,999)

- Thời gian lấy mẫu (2 cycles + 5 ms) hoặc 40 ms.

- Tần số hoạt động 1 mHz đến 102.4 kHz

-   >100 dB dynamic reserve

-  Độ ổn định 5 ppm/°C

- Độ phân giải  0.01 độ

- Hằng số thời gian 10ns đến 30 ks (up to 24 dB/oct rolloff)

- Độ chính xác: 25 ppm + 30 µHz

- Phân giải tần số 4½ số hoặc 0.1 mHz.

 Độ phân tán:  −80 dBc (f <10 kHz), −70 dBc (f >10 kHz) @ 1 Vrms

-Biên độ 0.004 to 5 Vrms ở 10 kΩ (phân giải 2 mV), 50 Ω trở kháng ra, dòng lớn nhất 50 mA ở 50 Ω.

- Độ chính xác biên độ: 1 %

- Độ ổn định 50 ppm/°C

- Tự động khuếch đại, pha, đảo và đặt offset.

- Tần số ra: Sine, TTL

- Hiển thị 2 kênh  4½ số,  40-segment LED bar graph.  Y, θ,

Y-noise, Aux 3 or Aux 4.  The display can also be any of these quantities divided by Aux 3 or Aux 4.

- Offset X, Y, R có thể đặt offset tới ±105 % của full scale.

- Mở rộng X, Y, R có thể tới 10×

hoặc 100×.

- Tham số 4½-số hiển thị  LED

- Đầu vào và đầu ra: CH1 output X, R, X-noise, Aux 1 or Aux 2,

(±10 V), updated at 512 Hz

CH2 output (SR830) Y, θ, Y-noise, Aux 3 or Aux 4,

(±10 V), updated at 512 Hz

X, Y outputs In-phase and quadrature components

(mặt sau) (±10 V), 256 kHz.

Aux. A/D inputs 4 BNC inputs, 16-bit, ±10 V,

Độ phân giải 1 mV, lấy mẫu ở 512 Hz

Aux. D/A outputs 4 BNC outputs, 16-bit, ±10 V, phân giải 1 mV.

- Thông số chung:

Chuẩn ghép nối IEEE-488.2 và RS-232.

- Nguồn nuôi:  40 W, 100/120/220/240 VAC,

50/60 Hz

Kích thước:  17" × 5.25" × 19.5" (WHD)

Trọng lượng:  12 kg.

1

Model:  SRS830

Hãng: SRS

Xuất xứ: Mỹ

8

Đồng hồ đo từ trường

- Dải đo từ  350mG  đến 350kG

- Độ phân giải khi đo DC đến  4.1/2 số.   

- Độ chính xác ±0.20%       

- Có thể đo đến 10kHz

- Hiển thị LCD 2x20, đơn vị Gauss, Tesla, Oe, A/m.

- Tốc độ hiển thị : 3rdg/s

- Chế độ đo: DC, RMS and MAX.

- Bàn phím : 14 phím mềm

- Ghép nối máy tính: USB, RS232. Phần mềm Labview driver.

- Chức năng cảnh báo lỗi

- Tích hợp báo động và rơ le: Công tắc thường đóng, thường mở, đầu nối điện cực 25 chân…

- Điện cực đo dài > 20cm (không kể dây cáp) loại Transerse probes .

- Kèm đầu đo tiêu chuẩn

- Đầu ra điện áp theo thời gian thực: ±3.5V

- Điện trở tải nhỏ nhất : 1kOhm (bảo vệ ngắn mạch)

- Nhiệt độ làm việc: 10oC đến 40oC. Độ ẩm 80%.

- Nguồn nuôi: 220VAC/50Hz

- Kích thước: 216mm W 89mm H X 318mm D.

- Trọng lượng: 2.1kg

2

Model: 425

Hãng: Lakeshore

Xuất xứ: Mỹ

9

Đồng hồ vạn năng số Multimeter Model 2000

(6-1/2 số DMM)

- Thiết bị Multimeter Đo các tín hiệu điện thế, dòng và điện trở của vật liệu. Độ chính xác 6 con số sau dấu phẩy.

- Đo được 13 chức năng.

- Kèm scanner cards đo đa điểm

- Chuẩn ghép nối IEEE-488 và RS-232

-  Có thể sử dụng lệnh của Fluke 8840/42

- Điện áp 220-240VAC

2

Model: 2000/E

Hãng: Keithley

Xuất xứ: Mỹ

10

Hệ đo đặc trưng I-V

Model Keithey 2602 (Dual-channel system SourceMeter),

Cấu hình thiết bị:

-          Đo dòng thế 2 kênh

-          Công suất tối đa cua mỗi kênh 40 W (40V , 1A)

-          Dòng đo/nguồn: 1.01 A

-          Điện thế đo/nguồn: 0-40V

-          Tín hiệu nhiễu 10Hz-20MHz

-          Cổng kết nối máy tính GPIB

Phụ kiện kèm theo:

-          Dây nối đất (Ground connection cable, banana to Screw-Lug)

-          Dây chống nhiễu (Protective shield/cap (3-lug))

-          Đầu cấm an toàn (Safety interlock plug)

-          Dây đo giảm nhiễu (Low noise triax input cable)

-          Dây nguồn công suất (High voltage banana cable set for voltage source output)

1

Model Keithley 2602 (Dual-channel system Source Meter),

Xuất xứ: Mỹ

11

Hệ đo đặc trưng điện trễ TF Analyzer 2000

1.  Các phép đo được thực hiện:

+ Đường cong sắt điện trễ (polarization hysteresis loop, P-E):

            -Dạng động (dynamic mode P-E loop)

            - dạng tĩnh (static mode P-E loop)

+ Khảo sát sự suy giảm tính chất sắt điện của mẫu theo chu kỳ làm việc (fatigue behavior vs. cycles).

+ Khảo sát sự suy giảm tính chất sắt điện của mẫu theo thời gian (Retention vs. time)

+ Khảo sát đặc trưng điện dung (capacitance curve, C-V), hằng số điện môi (dielectric constant).  

+ Khảo sát đặc trưng dòng rò (leakage current, I-V).

2.     Thông số kỹ thuật:

+ Nguồn cấp:

-Điện áp (Vac):         100 ¸ 240 V

- Tần số:                     50 ¸ 60 Hz

- Cường độ dòng điện (cực đại):   10 A tại 100 V;                                 6.3 A tại 230 V

- Dải nhiệt độ làm việc: 5 ¸ 35 oC

+ Điều kiện đo:

- Tần số:                     10 miliHz  ¸ 250 MHz

- Độ rộng xung:        25 ns ¸ 1000 s

- Điện áp đo:   ±25 V (điện áp nội - standard applied voltage), được  sử dụng để khảo sát tính chất màng mỏng.

±1000 V (sử dụng bộ khuếch đại điện áp ngoài, external high-voltage amplifier – HV Amplifier), được sử dụng khi xác định tính chất của màng dày và mẫu khối.

     3. Cấu trúc của mẫu đo:

+ Dạng màng mỏng:            chiều dày 30 nm ¸ 10.000 nm (10 mm)

+ Dạng màng dày:   chiều dày 10 mm ¸ 100 mm

+ Dạng khối:             chiều dày > 100 mm

1

Model: TF2000-E

Hãng:  AIXACCT Systems GmbH

Xuất xứ: Đức

12

Điều hòa không khí một chiều

- Điều hòa cây công suất 48.000 BTU.

- Điện áp 220V 1 pha hoặc 380V 3 pha.

2

Thái Lan

13

Tủ hút 

1

Singapore

14

Hệ thống bàn thí nghiệm hóa và PTN Hóa mới

06

Việt Nam

 

 

 

Tiếng Việt (Việt Nam)   English (United States)


Thời khóa biểu
Lịch làm việc học viên ITIMS

Lịch công tác ĐHBKHN
Lịch công tác ĐHBKHN

Thăm dò ý kiến

Theo bạn, Việt Nam cần đầu tư vào lĩnh vực nào dưới đây để tăng tốc độ phát triển?