Skip to content
Bạn đang ở: Trang chủ Giới thiệu Cơ sở vật chất TB ngành bán dẫn Lò ôxy hóa 3 ống (3 stack Furnace)
Lò ôxy hóa 3 ống (3 stack Furnace)
Thứ ba, 26 Tháng 4 2011 13:48

Lò ôxy hóa 3 ống (3 stack Furnace)

Mô tả thiết bị:

  • Khuếch tán tạp chất ở nhiệt độ cao trong các chất bán dẫn.

  • Oxi hoá ở nhiệt độ cao ở cả môi trường ôxy khô và ôxy ẩm

  • Hãng sản xuất: ĐHTH Delft, Hà lan

Thông số kỹ thuật:

  • Nhiệt độ tối đa: 1200°C, ±5°C

  • Trong môi trường khí N2, O2,  hơi H2O

  • Có thể điều khiển và lập trình hệ thống phân phối khí

Cán bộ phụ trách

                KTV. Nguyễn Văn Toán

Từ khóa: Lò ôxy hóa 3 ống, 3 stack Furnace

 

Tiếng Việt (Việt Nam)   English (United States)


Thời khóa biểu
Lịch làm việc học viên ITIMS

Lịch công tác ĐHBKHN
Lịch công tác ĐHBKHN

Thăm dò ý kiến

Theo bạn, Việt Nam cần đầu tư vào lĩnh vực nào dưới đây để tăng tốc độ phát triển?