|
Viết bởi Long VIC
|
|
Thứ ba, 16 Tháng 3 2010 13:58 |
|
Các hướng nghiên cứu chính của phòng Phòng thí nghiệm Công nghệ Vi hệ thống và cảm biến:
- Tổng hợp các loại vật liệu có cấu trúc nano chức năng bằng các nhiều phương pháp khác nhau như: lắng đọng hoá học pha hơi (CVD), thuỷ phân, thuỷ nhiệt, điện phân…
- Nghiên cứu chế tạo linh kiện vi cảm biến sử dụng công nghệ vi cơ điện tử (MEMS): cảm biến áp suất, cảm biến gia tốc, con quay vi cơ, cảm biến vi cân tinh thể thạch anh (QCM).
- Nghiên cứu chế tạo vi cảm biến khí dựa trên sự thay đổi độ dẫn của các dây nano: Cảm biến đo nồng độ hơi cồn, khí NH3, COx, NOx, LPG…
- Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí và cảm biến sinh học dựa trên sự thay đổi khổi lượng của vật liệu nano được kiểm tra bằng vi cân tinh thể thạch anh (QCM).
- Nghiên cứu chế tạo cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc điện cực răng lược, cấu trúc FET (Field Effect Transistor).
- Tổng hợp và ứng dụng vật liệu PZT (màng, khối).
- Nghiên cứu chế tạo các thiết bị sử dụng, tích trữ và chuyển đổi năng lượng tự nhiên thân thiện với môi trường dựa trên cơ sở vật liệu nano chức năng.
|
|
Lần cập nhật cuối ( Thứ ba, 30 Tháng 3 2010 09:30 )
|
Phòng thí nghiệm 
