Skip to content
Máy phún xạ cao tần In Email
Viết bởi Vu Anh Minh   
Thứ ba, 16 Tháng 9 2008 16:49

Máy phún xạ cao tần

Mô tả thiết bị:

  • Chế tạo màng mỏng đơn lớp, nhiều lớp

  • Ký mã hiệu: SCM 400

  • Hãng sản xuất: Alcatel, Pháp

  • Năm sản xuất: 1980, đưa vào sử dụng năm 1996

Thông số kỹ thuật:

  • Chân không tối đa 10-6 Torr

  • 2 đế, 1 nguồn phún xạ công suất 400 W

  • Hiện nay đã bổ sung được thêm 18 loại bia phục vụ việc nghiên cứu, chế tạo các màng mỏng đơn thành phần, đơn lớp, hoặc hợp kim

Cán bộ phụ trách:
 

     PGS.TS. Nguyễn Anh Tuấn

Từ khóa: Máy phún xạ cao tần, Alcatel, SCM400

 

 

 

Lần cập nhật cuối ( Thứ năm, 21 Tháng 4 2011 16:35 )
 

Tiếng Việt (Việt Nam)   English (United States)


Thời khóa biểu
Lịch làm việc học viên ITIMS

Lịch công tác ĐHBKHN
Lịch công tác ĐHBKHN

Thăm dò ý kiến

Theo bạn, Việt Nam cần đầu tư vào lĩnh vực nào dưới đây để tăng tốc độ phát triển?