Skip to content
Bạn đang ở: Trang chủ Giới thiệu Cơ sở vật chất TB ngành bán dẫn Máy đo độ dầy màng mỏng (ellipsometer)
Máy đo độ dầy màng mỏng (ellipsometer)
Thứ ba, 16 Tháng 9 2008 16:48

Máy đo độ dầy màng mỏng (ellipsometer)

Mô tả thiết bị:

  • Đo độ dày, chiết suất và một số các thông số khác của màng mỏng trong suốt như SiO, SiO2... và một số màng kim loại mỏng.

  • Ký mã hiệu: ATKI. Hãng SX: MTA-KFKI, Hungary

  • Đo kiểm tra chiều dày màng mỏng SiO2, Si3N4…  
    Hãng sản xuất: MTA-KFKI, Hungary

    Năm sản xuất: 1994, lắp đặt và sử dụng: 1995

Thông số kỹ thuật:

  • Sử dụng nguồn laser bước sóng laser: 632,8 nm

  • Góc đo từ 0-90°

  • Sai số độ dày đo: 2 nm

  •  Đường kính đế tối đa 150 mm

Cán bộ phụ trách

                KTV. Nguyễn Văn Toán

Từ khóa: Máy đo độ dầy màng mỏng, ellipsometer

 

Tiếng Việt (Việt Nam)   English (United States)


Thời khóa biểu
Lịch làm việc học viên ITIMS

Lịch công tác ĐHBKHN
Lịch công tác ĐHBKHN

Thăm dò ý kiến

Theo bạn, Việt Nam cần đầu tư vào lĩnh vực nào dưới đây để tăng tốc độ phát triển?