Skip to content
Máy đo độ dầy màng mỏng (ellipsometer) In Email
Viết bởi Vu Anh Minh   
Thứ ba, 16 Tháng 9 2008 16:48

Máy đo độ dầy màng mỏng (ellipsometer)

Mô tả thiết bị:

  • Đo độ dày, chiết suất và một số các thông số khác của màng mỏng trong suốt như SiO, SiO2... và một số màng kim loại mỏng.

  • Ký mã hiệu: ATKI. Hãng SX: MTA-KFKI, Hungary

  • Đo kiểm tra chiều dày màng mỏng SiO2, Si3N4…  
    Hãng sản xuất: MTA-KFKI, Hungary

    Năm sản xuất: 1994, lắp đặt và sử dụng: 1995

Thông số kỹ thuật:

  • Sử dụng nguồn laser bước sóng laser: 632,8 nm

  • Góc đo từ 0-90°

  • Sai số độ dày đo: 2 nm

  •  Đường kính đế tối đa 150 mm

Cán bộ phụ trách

                KTV. Nguyễn Văn Toán

Từ khóa: Máy đo độ dầy màng mỏng, ellipsometer

Lần cập nhật cuối ( Thứ năm, 21 Tháng 4 2011 14:10 )
 

Tiếng Việt (Việt Nam)   English (United States)


Thời khóa biểu
Lịch làm việc học viên ITIMS

Lịch công tác ĐHBKHN
Lịch công tác ĐHBKHN

Thăm dò ý kiến

Theo bạn, Việt Nam cần đầu tư vào lĩnh vực nào dưới đây để tăng tốc độ phát triển?