Skip to content
Bạn đang ở: Trang chủ Giới thiệu Cơ sở vật chất TB ngành bán dẫn Hệ đo độ dày màng mỏng (Alpha - Step Unit)
Hệ đo độ dày màng mỏng (Alpha - Step Unit)
Thứ ba, 16 Tháng 9 2008 16:44

Thiết bị đo độ dầy  (Alpha - Step Unit)

Mô tả thiết bị:

  • Đo bề dầy màng mỏng trên các vật liệu khác nhau

  • Hãng sản xuất: KLA Tencor - Mỹ

  • Năm sản xuất 1994

Thông số kỹ thuật:

  • Phương pháp đo: quét hai chiều

  • Chế độ lấy bậc: tự động hoặc bằng tay

  • Kích thước mẫu : 1 cm2 đến 10 cm2

Cán bộ phụ trách:

     KTV. Nguyễn Văn Toán


Từ khóa: Hệ đo độ dày màng mỏng, Alpha - Step Unit, KLA Tencor

 


 

Tiếng Việt (Việt Nam)   English (United States)


Thời khóa biểu
Lịch làm việc học viên ITIMS

Lịch công tác ĐHBKHN
Lịch công tác ĐHBKHN

Thăm dò ý kiến

Theo bạn, Việt Nam cần đầu tư vào lĩnh vực nào dưới đây để tăng tốc độ phát triển?