Skip to content
Bạn đang ở: Trang chủ Giới thiệu Cơ sở vật chất TB ngành bán dẫn Hệ phún xạ cathod (sputtering system)
Hệ phún xạ cathod (sputtering system)
Thứ ba, 16 Tháng 9 2008 15:54

Các thiết bị trong phòng sạch,  Hệ phún xạ cathod (sputtering system)

Công dụng:

  • Chế tạo màng mỏng đơn và nhiều lớp. Máy phún xạ cathod trong phòng sạch có thể tạo các màng mỏng từ các vật liệu nguồn bất kỳ. Đèn thạch anh đảm bảo trước quá trình phún xạ tạo màng các phần tử nước bị đuổi hết ra khỏi bề mặt mẫu.

  • Hãng sản xuất: ĐHTH Twente, Hà lan.

  • Năm sản xuất: 1998. Năm lắp đặt và sử dụng: 1999

Thông số kỹ thuật chủ yếu:

  • Chân không tối đa: 1. 10-7 Torr, bơm turbo.

  • 2 bia, 1 đế quay, 1 nguồn cao tần công suất 500W, 1 nguồn DC công suất 750W

  • Có load-lock, đèn thạch anh đốt đế (nhiệt độ tối đa 450 độ C).

 

 

Tiếng Việt (Việt Nam)   English (United States)


Thời khóa biểu
Lịch làm việc học viên ITIMS

Lịch công tác ĐHBKHN
Lịch công tác ĐHBKHN

Thăm dò ý kiến

Theo bạn, Việt Nam cần đầu tư vào lĩnh vực nào dưới đây để tăng tốc độ phát triển?