Thiết bị bốc bay chân không

 Mô tả thiết bị:

• Chế tạo màng mỏng đơn và nhiều lớp

• Ký mã hiệu: A 500

• Hãng sản xuất: Balzer, Thuỵ Sỹ

• Năm sản xuất: 1980, đưa vào sử dụng năm 1996

Thông số kỹ thuật:

• Chân không tối đa 10^-6 Torr

• 1 nguồn bốc bay bằng điện trở

• Đo được chiều dầy màng

Cán bộ phụ trách:

• PGS.TS. Nguyễn Anh Tuấn

Từ khóa: Thiết bị bốc bay chân không,  Balzer, Chân không 10^-6 Torr