Thiết bị bốc bay chân không
Mô tả thiết bị:
Chế tạo màng mỏng đơn và nhiều lớp
Ký mã hiệu: A 500
Hãng sản xuất: Balzer, Thuỵ Sỹ
Năm sản xuất: 1980, đưa vào sử dụng năm 1996
Thông số kỹ thuật:
Chân không tối đa 10-6 Torr
1 nguồn bốc bay bằng điện trở
Đo được chiều dầy màng
Cán bộ phụ trách:
PGS.TS. Nguyễn Anh Tuấn
Từ khóa: Thiết bị bốc bay chân không, Balzer, Chân không 10-6 Torr