TT

Tên thiết bị và đặc tính kỹ thuật cơ bản

Số lượng (chiếc)

Model và xuất xứ thiết bị

1

Thiết bị điều hoà không khí cho công nghệ MEMS

* Giàn Lạnh: 1 giàn

- Công suất: 147.000 Btu/h

- Điện áp: 3 pha 380 VAC/50 Hz

- Dải lạnh: 14 ^oCWB-24 ^oCWB

- Công suất tiêu thụ: 1.55 kW

- Dòng: 3.8 A

- Tốc độ thổi (quạt): 120 CMM

- Áp suất tĩnh: 150 Pa

- Kích thước ngoài: 595x1947x764 (mm)

- Vỏ: thép mạ kẽm

- Kiểu trao đổi nhiệt: cạnh ngang

- Độ ồn: 52 dB(A)

- Trọng lượng tịnh: 130 Kg

- Filter lọc khí: PAC-KE220AF

- Điều khiển từ xa: PAR-21MAA

* Giàn Nóng: 2 giàn

- Điện áp: 3 pha 380 VAC/50 Hz

- Công suất tiêu thụ: 6.65x2 kW

- Dòng: 13x2 A

- Dòng khởi động: 108 A

- Tốc độ thổi (quạt): 160x2 CMM

- Máy nén: kiểu xoáy ốc kín công suất: 5.6x2 kW

- Kích thước ngoài:(1480x1047x547)x2 (mm)

- Vỏ: phủ nhựa thông polyester

- Kiểu trao đổi nhiệt: cạnh ngang

- Độ ồn: 66 dB(A)

- Trọng lượng tịnh: 197x2 Kg

- Hệ thống bảo vệ an toàn: Chống áp suất cao/thấp/OCR

1

Model: PE-16GAK,

Hãng sản xuất: Mitsubishi

Xuất xứ: Thái Lan

2

Hệ đo và hiển thị chân không

2.1. Vacuum Gauge Controller: Modern : Center two

- Kích thước: 106.3mmX128.5mmX207mm (WHD).

- Trọng lượng: 1.04kg

- Môi trường làm việc: 5- 50^oC

Độ ẩm: 80%

- 4 phím điều khiển, cổng ghép nối RS232.

- Điện áp: 90 – 250VAC

- Thích hợp cảm biến chân không loại: PTR 225

- Nguồn nuôi cho cảm biến: 24VDC.

- Đơn vị đo: mbar, Pa, Torr, Micron.

- Tương thích các loại cảm biến.

- Chuyển đổi ADC: 16bit

- Đầu ra: điện áp 0 -10V

- Hiển thị LCD

- Dải đo phụ thuộc vào cảm biến chân không.

Đo và hiển thị chân không cao >10^-7 mbar

2.2. Cảm biến chân không (PENNING  Transmitter) Moden  PTR225:

- Dải đo: 10^-9 – 10^-2 mbar/torr

- Nguyên lý đo: Ion hóa ca tốt lạnh đo PENNING.

- Nguồn nuôi: 24VDC

- Công suất : 2W

- Có thể tháo lắp cơ động

- Đầu nối: DN 25KF hoặc DN 40CF.

- Vật liệu: thép không rỉ

- Điện áp hoạt động: 1.6kV

- Điện áp ra: 0 -10.6V

- Điện trở tải: > 10kΩ

- Tín hiệu đo: 0.66V đến 10V

- Kích thước: 80 x 126 x 73 mm (WxHxD)

- Trọng lượng: 500 g

- Điều kiện làm việc: -20^oC đến 50^oC. Độ ẩm <95%.

- 10 m cáp nối

- 02 FCC, 68 nút.

- Đĩa ca tốt thay thế (5 chiếc)

- Clamp loại DN 20/25 KF

- DN 25 KF (Al) centering ring

1

Model: Center Two và PTR225

Hãng: Oerlikon Leybold

Xuất xứ: Đức

3

Hệ thống lọc và làm tươi không khí phòng vi chế tạo

3.1

Bag Filter 1

- Tốc độ gió bề mặt: 1.5 (m/s)

- Hiệu suất lọc bụi: E_m=90-95%

- Độ chênh áp ban đầu: 135 Pa

- Độ chênh áp cuối khuyến cáo thay thế: 450 Pa

- Nhiệt độ giới hạn: 70 ^oC

- Kích thước: 599x290x500(mm)@3400 m³/h

- Kích thước: 915x610x149(mm)@1500 m³/h

20

- Hãng sản xuất: Vietair

- Xuất xứ: Việt Nam

3.2

Bag Filter 2

- Tốc độ gió bề mặt: 1.5 (m/s)

- Hiệu suất lọc bụi: E_m=90-95%

- Độ chênh áp ban đầu: 135 Pa

- Độ chênh áp cuối khuyến cáo thay thế: 450 Pa

- Nhiệt độ giới hạn: 70 ^oC

- Kích thước: 599x595x500(mm);3400 m³/h

10

- Hãng sản xuất: Vietair

- Xuất xứ: Việt Nam

3.3

Hepa Filter

- Hiệu suất lọc bụi: E_m=99.99%; 0.3µm

- Tốc độ gió bề mặt: 0.75 (m/s)

- Độ chênh áp ban đầu: 250Pa

- Độ chênh áp cuối khuyến cáo thay thế: 750 Pa

- Nhiệt độ giới hạn: 75 ^oC

- Khung tôn mạ kẽm

- Gasket cửa gió vào

- Face Guard 2 mặt

10

- Hãng sản xuất: Vietair

- Xuất xứ: Việt Nam

4

Bơm chân không Turbo dùng cho thiết bị ăn mòn khô ICP-RIE-10iP

Model   FT-480W

1

Model : FT-480W (JIS VG 150)

Hãng: Mitsubishi

Xuất xứ: Nhật Bản

4.1

Máy bơm:

-Kiểu họng hút: đầu vào JIS VG 150; đầu ra NW25

-Tốc độ bơm (Lít/giây): N2- 480; H2- 340

- Hệ số nén cực đại: N2- >10¹⁰; H2->10⁴

- Xử lý bề mặt của cánh quạt quay (rotor blade): Tấm Niken

- Áp suất cực đại ở đầu vào (ứng với dòng khí cực đại) (Pa): 43 (N2)

- Áp suất cực đại ở đầu ra (ứng với dòng khí cực đại)  (Pa): 410

- Áp suất cực đại ở đầu ra (với dòng khí 100 sccm "cm³/phút") (Pa): 930

- Tỷ lệ dòng khí N2 cực đại, sccm (Pa Lít/giây): 850 (1430)

- Tỷ lệ dòng khí Ar cực đại, sccm (Pa Lít/giây): 370(620) (nhiệt độ quay cực đại: 120^oC)

- Áp suất cơ sở  (Pa): 10^-8

- Tốc độ quay (vòng/phút): 45000

- Thời gian tăng/giảm (phút): 4

- Kiểu đệm từ (Bearing type): Tất cả các đệm từ đều hoạt động

- Nhiệt độ    (^oC): ≤120

- Làm lạnh: Nước

- Đầu làm lạnh/Tốc độ của dòng nước làm lạnh (Lít/phút): Rc 3/8 / ≥3

- Áp suất suy giảm của nước làm lạmh giữa đầu vào và đầu ra (Mpa): ≥0.05

- Đầu lọc khí/Tốc độ, sccm (Pa Lít/giây): NW 10/10 (17)

- Khối lượng      (kg): ~ 17

- Khuyến nghị dùng bơm sơ cấp (Lít/phút): 290

- Ngưỡng tiếng ồn   (dBA): 64

1

4.2

Bộ điều khiển áp suất cho bơm Turbo của hãng VAT. Adaptive Pressure Controller (PM-4&5 for Gate Valve Control System)

-         Series 64.1

-         Mã sản phẩm: FABR.NO. 641PM-.6..-….

-         Sofware version: 64PM.3l.00

1

Hãng VAT – Thụy Sỹ.

5

Hệ thống lọc cho máy tạo khí nitơ

Tạo nitơ khí có độ sạch 99.99%

- Bộ lọc : loại Fillter K18AO (15 chiếc)

- Bộ lọc: loại  Fillter K18ACS (5 chiếc)

Hãng: Ingersoll Range

6

Bộ nguồn cho nam châm điện

Đầu ra dòng và áp: ± 135A, ± 75V, 7.5 KW.

Tốc độ tăng dòng: 10A/s

Điện trở tải: nhỏ nhất 0.25 Ohm

Độ ổn định dòng : ± (0.01% of reading + 0.01% of full scale range)

Nhiễu : ± (0.001% of reading + 0.001% of full scale range) đỉnh – đỉnh ở tần số 0.1Hz và 1Hz.

Độ phẳng điện áp: 5mV + 0.01% full scale range.

Đặt đầu ra: Theo giới hạn dòng và áp.

Đầu ra theo chương trình: theo chương trình máy tính (đầu nối BR2)

Quan sát điện áp ra: ±10V full scale (đầu nối BR2 )

Quan sát dòng đầu ra: ±10V full scale (đầu nối BR2 )

Đầu nối dòng đầu ra: 9.5 mm

Công tắc Tắt/bật: Nằm phía trước.

Báo lỗi:

      -     Hỏng transistor công suất

-         Bảo vệ giới hạn dòng

-         Bảo vệ ngắn mạch

-         Bảo vệ quá nhiệt

-         Bảo vệ quá tải

-         Bảo vệ quá công suất

Công suất đầu vào: 11A/pha với điện áp 380/400VAC giữa các pha. Tần số dòng điện 50-60Hz.

Nước làm mát:8 lít/phút, áp lực nước 0.12MPa (17psi)

Đầu nối nước làm mát: 10mm

Môi trường làm việc: 10^oC đến 40^oC, độ ẩm 80%.

Cơ cấu xe đẩy với 4 bánh

Kích thước và trọng lượng: 1.35mx0.7mx0.6m (HxDxW), 295kg.

1

Model: 648;

Hãng Lakeshore

Xuất xứ: Mỹ

7

Khuếch đại Lock-in DSP

Khuếch đại Lock-in hai kênh:

- Tín hiệu vào: đơn hoặc vi sai

- Độ nhạy: 2nV đến 1V

- Tín hiệu dòng: 10⁶ – 10⁸ V/A

- Trở kháng vào: Điện áp: 10MΩ+25pF, DC hoặc AC.

Dòng: 1kΩ

- Độ chính xác khuếch đại: ± 1%

- Nhiễu: 6 nV/√Hz at 1 kHz

0.13 pA/√Hz at 1 kHz (106

V/A)

0.013 pA/√Hz at 100 Hz (108

V/A)

Lọc nguồn nuôi: 50/60 Hz và 100/120 Hz (Q = 4 )

- CMRR: 100 dB to 10 kHz, decreasing by

6 dB/oct above 10 kHz

- Dynamic reserve >100 dB (without prefilters).

- Độ ổn định <5 ppm/°C

- Sai số pha <1°

- Sai số <0.001°

 - Tính trực giao:  90° ± 0.001°

- Nhiễu pha:<0.0001° rms ở 1 kHz

- External ref. 0.005° rms ở 1 kHz (100 ms timeconstant, 12 dB/oct)

- Phase drift <0.01°/°C dưới 10 kHz,<0.1°/°C trên 10 kHz

- Nhiễu âm: 2F, 3F, ... nF đến 102 kHz (n < 19,999)

- Thời gian lấy mẫu (2 cycles + 5 ms) hoặc 40 ms.

- Tần số hoạt động 1 mHz đến 102.4 kHz

-   >100 dB dynamic reserve

-  Độ ổn định 5 ppm/°C

- Độ phân giải  0.01 độ

- Hằng số thời gian 10ns đến 30 ks (up to 24 dB/oct rolloff)

- Độ chính xác: 25 ppm + 30 µHz

- Phân giải tần số 4½ số hoặc 0.1 mHz.

 Độ phân tán:  −80 dBc (f <10 kHz), −70 dBc (f >10 kHz) @ 1 Vrms

-Biên độ 0.004 to 5 Vrms ở 10 kΩ (phân giải 2 mV), 50 Ω trở kháng ra, dòng lớn nhất 50 mA ở 50 Ω.

- Độ chính xác biên độ: 1 %

- Độ ổn định 50 ppm/°C

- Tự động khuếch đại, pha, đảo và đặt offset.

- Tần số ra: Sine, TTL

- Hiển thị 2 kênh  4½ số,  40-segment LED bar graph.  Y, θ,

Y-noise, Aux 3 or Aux 4.  The display can also be any of these quantities divided by Aux 3 or Aux 4.

- Offset X, Y, R có thể đặt offset tới ±105 % của full scale.

- Mở rộng X, Y, R có thể tới 10×

hoặc 100×.

- Tham số 4½-số hiển thị  LED

- Đầu vào và đầu ra: CH1 output X, R, X-noise, Aux 1 or Aux 2,

(±10 V), updated at 512 Hz

CH2 output (SR830) Y, θ, Y-noise, Aux 3 or Aux 4,

(±10 V), updated at 512 Hz

X, Y outputs In-phase and quadrature components

(mặt sau) (±10 V), 256 kHz.

Aux. A/D inputs 4 BNC inputs, 16-bit, ±10 V,

Độ phân giải 1 mV, lấy mẫu ở 512 Hz

Aux. D/A outputs 4 BNC outputs, 16-bit, ±10 V, phân giải 1 mV.

- Thông số chung:

Chuẩn ghép nối IEEE-488.2 và RS-232.

- Nguồn nuôi:  40 W, 100/120/220/240 VAC,

50/60 Hz

Kích thước:  17" × 5.25" × 19.5" (WHD)

Trọng lượng:  12 kg.

1

Model:  SRS830

Hãng: SRS

Xuất xứ: Mỹ

8

Đồng hồ đo từ trường

- Dải đo từ  350mG  đến 350kG

- Độ phân giải khi đo DC đến  4.1/2 số.   

- Độ chính xác ±0.20%       

- Có thể đo đến 10kHz

- Hiển thị LCD 2x20, đơn vị Gauss, Tesla, Oe, A/m.

- Tốc độ hiển thị : 3rdg/s

- Chế độ đo: DC, RMS and MAX.

- Bàn phím : 14 phím mềm

- Ghép nối máy tính: USB, RS232. Phần mềm Labview driver.

- Chức năng cảnh báo lỗi

- Tích hợp báo động và rơ le: Công tắc thường đóng, thường mở, đầu nối điện cực 25 chân…

- Điện cực đo dài > 20cm (không kể dây cáp) loại Transerse probes .

- Kèm đầu đo tiêu chuẩn

- Đầu ra điện áp theo thời gian thực: ±3.5V

- Điện trở tải nhỏ nhất : 1kOhm (bảo vệ ngắn mạch)

- Nhiệt độ làm việc: 10^oC đến 40^oC. Độ ẩm 80%.

- Nguồn nuôi: 220VAC/50Hz

- Kích thước: 216mm W 89mm H X 318mm D.

- Trọng lượng: 2.1kg

2

Model: 425

Hãng: Lakeshore

Xuất xứ: Mỹ

9

Đồng hồ vạn năng số Multimeter Model 2000

(6-1/2 số DMM)

- Thiết bị Multimeter Đo các tín hiệu điện thế, dòng và điện trở của vật liệu. Độ chính xác 6 con số sau dấu phẩy.

- Đo được 13 chức năng.

- Kèm scanner cards đo đa điểm

- Chuẩn ghép nối IEEE-488 và RS-232

-  Có thể sử dụng lệnh của Fluke 8840/42

- Điện áp 220-240VAC

2

Model: 2000/E

Hãng: Keithley

Xuất xứ: Mỹ

10

Hệ đo đặc trưng I-V

Model Keithey 2602 (Dual-channel system SourceMeter),

Cấu hình thiết bị:

-          Đo dòng thế 2 kênh

-          Công suất tối đa cua mỗi kênh 40 W (40V , 1A)

-          Dòng đo/nguồn: 1.01 A

-          Điện thế đo/nguồn: 0-40V

-          Tín hiệu nhiễu 10Hz-20MHz

-          Cổng kết nối máy tính GPIB

Phụ kiện kèm theo:

-          Dây nối đất (Ground connection cable, banana to Screw-Lug)

-          Dây chống nhiễu (Protective shield/cap (3-lug))

-          Đầu cấm an toàn (Safety interlock plug)

-          Dây đo giảm nhiễu (Low noise triax input cable)

-          Dây nguồn công suất (High voltage banana cable set for voltage source output)

1

Model Keithley 2602 (Dual-channel system Source Meter),

Xuất xứ: Mỹ

11

Hệ đo đặc trưng điện trễ TF Analyzer 2000

1.  Các phép đo được thực hiện:

+ Đường cong sắt điện trễ (polarization hysteresis loop, P-E):

            -Dạng động (dynamic mode P-E loop)

            - dạng tĩnh (static mode P-E loop)

+ Khảo sát sự suy giảm tính chất sắt điện của mẫu theo chu kỳ làm việc (fatigue behavior vs. cycles).

+ Khảo sát sự suy giảm tính chất sắt điện của mẫu theo thời gian (Retention vs. time)

+ Khảo sát đặc trưng điện dung (capacitance curve, C-V), hằng số điện môi (dielectric constant).  

+ Khảo sát đặc trưng dòng rò (leakage current, I-V).

2.     Thông số kỹ thuật:

+ Nguồn cấp:

-Điện áp (Vac):         100 ¸ 240 V

- Tần số:                     50 ¸ 60 Hz

- Cường độ dòng điện (cực đại):   10 A tại 100 V;                                 6.3 A tại 230 V

- Dải nhiệt độ làm việc: 5 ¸ 35 ^oC

+ Điều kiện đo:

- Tần số:                     10 miliHz  ¸ 250 MHz

- Độ rộng xung:        25 ns ¸ 1000 s

- Điện áp đo:   ±25 V (điện áp nội - standard applied voltage), được  sử dụng để khảo sát tính chất màng mỏng.

±1000 V (sử dụng bộ khuếch đại điện áp ngoài, external high-voltage amplifier – HV Amplifier), được sử dụng khi xác định tính chất của màng dày và mẫu khối.

     3. Cấu trúc của mẫu đo:

+ Dạng màng mỏng:            chiều dày 30 nm ¸ 10.000 nm (10 mm)

+ Dạng màng dày:   chiều dày 10 mm ¸ 100 mm

+ Dạng khối:             chiều dày > 100 mm

1

Model: TF2000-E

Hãng:  AIXACCT Systems GmbH

Xuất xứ: Đức

12

Điều hòa không khí một chiều

- Điều hòa cây công suất 48.000 BTU.

- Điện áp 220V 1 pha hoặc 380V 3 pha.

2

Thái Lan

13

Tủ hút 

1

Singapore

14

Hệ thống bàn thí nghiệm hóa và PTN Hóa mới

06

Việt Nam