Hệ thống ăn mòn khô Plasma mật độ cao (RIE-SYSTEM) |
Thứ ba, 26 Tháng 4 2011 10:04 | |||
Hệ thống ăn mòn khô Plasma mật độ cao (RIE-SYSTEM)
Thông số kỹ thuật:
Cán bộ phụ trách: PGS. TS. Vũ Ngọc Hùng Từ khóa: Hệ thống ăn mòn khô Plasma mật độ cao, RIE-SYSTEM
|