Thiết bị đo độ dầy  (Alpha - Step Unit)

Mô tả thiết bị:

• Đo bề dầy màng mỏng trên các vật liệu khác nhau
  
  
• Hãng sản xuất: KLA Tencor - Mỹ
  
  
• Năm sản xuất 1994

Thông số kỹ thuật:

• Phương pháp đo: quét hai chiều
  
  
• Chế độ lấy bậc: tự động hoặc bằng tay
  
  
• Kích thước mẫu : 1 cm2 đến 10 cm2

Cán bộ phụ trách:

     KTV. Nguyễn Văn Toán

Từ khóa: Hệ đo độ dày màng mỏng, Alpha - Step Unit, KLA Tencor