Thứ ba, 16 Tháng 9 2008 16:44 |
Thiết bị đo độ dầy (Alpha - Step Unit)
Mô tả thiết bị:
- Đo bề dầy màng mỏng trên các vật liệu
khác nhau
- Hãng sản xuất: KLA Tencor - Mỹ
- Năm sản xuất 1994
Thông số kỹ thuật:
- Phương pháp đo: quét hai chiều
- Chế độ lấy bậc: tự động hoặc bằng tay
- Kích thước mẫu : 1 cm2 đến 10 cm2
Cán bộ phụ trách:
KTV. Nguyễn Văn Toán
Từ khóa: Hệ đo độ dày màng mỏng, Alpha - Step Unit, KLA Tencor
|