Các thiết bị trong phòng sạch,  Máy quay li tâm phủ SOG

Công dụng:

Tạo màng mỏng các hợp chất silicat, các hợp chất silic hữu cơ hoặc các chất làm nguồn pha tạp trên các phiến silic trong công nghệ vi điện tử.

Ký mã hiệu: CPS 20. Hãng sản xuất: SEMITEC, Đức

Năm sản xuất: 1996. Năm lắp đặt và sử dụng: 1997

Thông số kỹ thuật chủ yếu:

Tốc độ quay: 50 -1000 vòng/phút

Lập trình điều khiển tốc độ và thời gian theo yêu cầu công nghệ

Cán bộ phụ trách: KTV. Nguyễn Văn Toán

Từ khóa: Máy quay li tâm phủ SOG