Thứ ba, 16 Tháng 9 2008 15:56 |
Máy bốc bay chân không (evaporation)

Mô tả thiết bị:
-
Chế tạo màng mỏng, chủ yếu là
màng nhôm, màng vàng, ... phục vụ kỹ
thuật vi điện tử.
-
Hãng sản xuất: lắp ghép nhiều
hãng.
-
Nước sản xuất: Hà lan.
-
Năm lắp đặt và sử dụng: 1998.
Thông số kỹ thuật:
-
Chân không tối đa: 1. 10-6 Torr
-
1 nguồn bốc bay bằng điện trở
-
Tự kéo nhôm trong quá
trình bốc bay
-
Điều khiển bán tự động
Cán bộ phụ trách:
Từ khóa: Máy bốc bay chân không, evaporation
|