Máy bốc bay chân không (evaporation)

Mô tả thiết bị:

•     Chế tạo màng mỏng, chủ yếu là màng nhôm,  màng vàng, ... phục vụ kỹ thuật vi điện tử.

•     Hãng sản xuất: lắp ghép nhiều hãng.

•     Nước sản xuất: Hà lan.

•     Năm lắp đặt và sử dụng: 1998.

Thông số kỹ thuật:

• Chân không tối đa: 1. 10^-6 Torr

• 1 nguồn bốc bay bằng điện trở

• Tự kéo nhôm trong quá trình bốc bay

• Điều khiển bán tự động

Cán bộ phụ trách:

• KTV. Nguyễn Văn Toán

Từ khóa:  Máy bốc bay chân không, evaporation