Skip to content
Bạn đang ở: Trang chủ Giới thiệu Cơ sở vật chất TB ngành bán dẫn Máy quang khắc một mặt (Align System)
Máy quang khắc một mặt (Align System)
Thứ ba, 16 Tháng 9 2008 15:41

Máy quang khắc một mặt (Align System)

 Mô tả thiết bị:  

  • Tạo hình dạng cấu trúc màng mỏng kích cỡ Micro cho các lớp của linh kiện vi điện tử.

  • Là thiết bị được sử dụng thường xuyên trong suốt các quá trình công nghệ trong Phòng Sạch.

  • Đèn UV 200W

  • Chế độ quang khắc: Hard/soft, contact
  • Hãng sản xuất: Carl Suss – GERMANY

 

Thông số kỹ thuật:

  • Đường kính đế: 5 mm to 75 mm.

  • So mask một mặt.

  • Điều khiển cơ

Cán bộ phụ trách:

TS.
Nguyễn Văn Toán

Từ khóa: Hệ quang khắc, Máy quang khắc một mặt, photolithographer, Align System

 

 

 

Tiếng Việt (Việt Nam)   English (United States)


Thời khóa biểu
Lịch làm việc học viên ITIMS

Lịch công tác ĐHBKHN
Lịch công tác ĐHBKHN

Thăm dò ý kiến

Theo bạn, Việt Nam cần đầu tư vào lĩnh vực nào dưới đây để tăng tốc độ phát triển?