Skip to content
Máy quang khắc một mặt (Align System) In Email
Viết bởi Vu Anh Minh   
Thứ ba, 16 Tháng 9 2008 15:41

Máy quang khắc một mặt (Align System)

 Mô tả thiết bị:  

  • Tạo hình dạng cấu trúc màng mỏng kích cỡ Micro cho các lớp của linh kiện vi điện tử.

  • Là thiết bị được sử dụng thường xuyên trong suốt các quá trình công nghệ trong Phòng Sạch.

  • Đèn UV 200W

  • Chế độ quang khắc: Hard/soft, contact
  • Hãng sản xuất: Carl Suss – GERMANY

 

Thông số kỹ thuật:

  • Đường kính đế: 5 mm to 75 mm.

  • So mask một mặt.

  • Điều khiển cơ

Cán bộ phụ trách:

TS.
Nguyễn Văn Toán

Từ khóa: Hệ quang khắc, Máy quang khắc một mặt, photolithographer, Align System

 

 

Lần cập nhật cuối ( Thứ ba, 26 Tháng 4 2011 11:12 )
 

Tiếng Việt (Việt Nam)   English (United States)


Thời khóa biểu
Lịch làm việc học viên ITIMS

Lịch công tác ĐHBKHN
Lịch công tác ĐHBKHN

Thăm dò ý kiến

Theo bạn, Việt Nam cần đầu tư vào lĩnh vực nào dưới đây để tăng tốc độ phát triển?