[Giới thiệu nhm] [Tin tức ] [Thiết bị GD] [Phần cứng GD] [Phần mềm GD] [Lin hệ] [Bản đồ site]
|
|
|
|
|
[Giới thiệu nhm] [Tin tức ] [Thiết bị GD] [Phần cứng GD] [Phần mềm GD] [Lin hệ] [Bản đồ site] |
||
| Phần mềm GDBVMT | Phần mềm KHVL | Phần mềm thí nghiệm ảo thực tập về KH&CNVL |
|
Cảm biến Gia tốc | Cảm biến pH(IFETS) | Linh kiện điện huỳnh quang (tụ MOS) |
| Nguyên lý hoạt động | Ý nghĩa & Ứng dụng | Qui trình chế tạo | Trắc nghiệm |
|
Qui trình công nghệ chế tạo cảm biến đo độ pH gồm 8 công đoạn chính. Các bước được tiến hành hoàn toàn trong phòng sạch (cleanroom) dưới điều kiện chuẩn về độ sạch. Người tiến hành chế tạo cần tuân thủ chính xác các yêu cầu nghiêm ngặt và thao tác của từng bước cũng như từng giai đoạn công nghệ trong mỗi bước. Các bước gồm: |
| Bước 1 Rửa phiến lần 1: làm sạch phiến trước khi xử lý |
|
|
|
Bước 2 Ô xy hóa ẩm: tạo lớp Oxit bảo vệ trên bề mặt phiến |
| Bước 3 Khuyếch tán cực nguồn và cực máng |
|
|
|
Bước 4 Quang khắc Mask 1 |
| Bước 5 Ăn mòn ướt |
|
|
|
Bước 6 Phún xạ catot Tan tan tạo màng mỏng |
| Bước 7 Bốc bay Nhôm |
|
|
|
Bước 8 Đóng gói ISFET |
| Bước 9 Máy đo nồng độ pH với cảm biến ISFET |
|
Chương trình này được xây dựng dưới dạg các thí nghiệm ảo, cho
phép người học tìm hiểu, tiến hành các thao tác thực nghiệm trên các thí nghiệm.
Giúp người học nắm bắt được các kỹ năng, qui trình cơ bản trước khi tiến hành
thực nghiệm.
Copyright © 6-2005 ITIMS- ITSoft Group. All rights reserved.
Copyright Policy.
Liên hệ :Nhóm Tin học Ứng dụng, viện ITIMS, ĐHBK Hà nội, 1 Đại Cồ Việt,
Hà nội, Việt nam.
Tel: 0804 8680786 (xin số
402); Fax: 0804 8692963; Email:
Vũ Anh Minh (minh@itims.edu.vn)
http://www.itims.edu.vn
