[Giới thiệu nhm] [Tin tức ] [Thiết bị GD] [Phần cứng GD] [Phần mềm GD] [Lin hệ] [Bản đồ site]
|
|
|
|
|
[Giới thiệu nhm] [Tin tức ] [Thiết bị GD] [Phần cứng GD] [Phần mềm GD] [Lin hệ] [Bản đồ site] |
||
| Phần mềm GDBVMT | Phần mềm KHVL | Phần mềm thí nghiệm ảo thực tập về KH&CNVL |
|
Cảm biến Gia tốc | Cảm biến pH(IFETS) | Linh kiện điện huỳnh quang (tụ MOS) |
| Nguyên lý hoạt động | Ý nghĩa & Ứng dụng | Qui trình chế tạo | Trắc nghiệm |
3) Qui trình chế tạo cảm biến
Qui trình công nghệ chế tạo cảm biến gia tốc vi cơ kiểu áp trở gồm 13 bước. Các bước được tiến hành trong phòng sạch (cleanroom) dưới điều kiện chuẩn về độ sạch. Người tiến hành chế tạo cần tuân thủ chính xác các yêu cầu và thao tác của từng bước cũng như từng công đoạn trong mỗi bước. Các bước gồm :
| Bước 1 Rửa phiến lần 1: nhằm làm sạch phiến trước khi tiến hành gia công. | è |
|
|
|
ç | Bước 2 Ô xy hóa ẩm lần 1: Nhằm tạo một lớp màng ô xít trên bề mặt phiến. |
| Bước 3 Quang khắc Mask 1: Định hình cảm biến vi cơ |
è
|
|
|
|
ç | Bước 4 Ăn mòn lần 1: Loại bỏ ôxy hóa để tạo mạch Silíc ban đầu. |
| Bước 5 Quang khắc Mask II: Định hình thanh dầm |
è
|
|
|
|
ç | Bước 6 Ăn mòn lần II: Tạo cấu trúc thanh dầm |
| Bước 7 Ô xy hóa ẩm lần II: Phủ thêm 1 lớp Oxit Silíc lên cấu trúc sensor đã tạo hình ở công đoạn trước. |
è
|
|
|
|
ç | Bước 8 Quang khắc Mask III: Loại bỏ các lớp Oxits Silíc, tạo cấu trúc sensor vi cơ. |
| Bước 9 Khuyếch tán: Tạo lớp áp điện trở trên linh kiện. |
|
|
|
|
ç | Bước 10 Quang khắc Mask IV: Định hình dạng các điện cực |
| Bước 11 Bốc bay nhôm: Tạo lớp điện cực |
|
|
|
|
ç | Bước 12 Quang khắc Mask V : Tạo điện cực |
| Bước 13 Cắt phiến : Tách các sensor vi cơ khỏi phiến Silíc |
è
|
|
| Bước 14 | ||
Chương trình được xây dựng dưới dạng các thí nghiệm ảo cho phép người học tiến hành học, thực hành các thao tác thực nghiệm trên các thí nghiệm, giúp người học nắm bắt được các kỹ năng, qui trình cơ bản trước khi tiến hành thí nghiệm thực tế.
Copyright © 6-2005 ITIMS- ITSoft Group. All rights reserved.
Copyright Policy.
Liên hệ :Nhóm Tin học Ứng dụng, viện ITIMS, ĐHBK Hà nội, 1 Đại Cồ Việt,
Hà nội, Việt nam.
Tel: 0804 8680786 (xin số
402); Fax: 0804 8692963; Email:
Vũ Anh Minh (minh@itims.edu.vn)
http://www.itims.edu.vn
