Thiết bị nghiên cứu chính
tại Trung tâm ITIMS

Các thiết bị nghiên cứu tạm thời được phân loại theo nhóm ngành nghiên cứu: Bán dẫn, Từ, Composite, gốm.

Các thiết bị phục vụ cho nhóm ngành Bán dẫn
 

Các thiết bị bên ngoài phòng sạch

Hệ đo chính xác các thông số bán dẫn

Hệ đo C-V

Máy hàn dây (Wire Bonder)

Thiết bị đo phổ huỳnh quang
 

Các thiết bị trong phòng sạch

Hệ thống lò oxi hoá, khuếch tán

Hệ thống lò oxi hoá điều khiển số (Tempress Furnace)

Hệ lắng đọng hoá học áp suất thấp (LPCVD)

Hệ quang khắc

Hệ thống quang học trong phòng sạch

Hệ phún xạ cahode (sputtering)

Hệ bốc bay chân không (evaporation)

Hệ SOG tạo màng mỏng (spinner)

Hệ nước siêu sạch (DI water)

Thiết bị đo bề dầy màng mỏng (Alpha Step)

Thiết bị đo điện trở bề mặt bằng phương pháp 4 mũi dò

Thiết bị đo bề dầy màng mỏng (Elippsometer)
 

Các thiết bị phục vụ cho nhóm ngành Từ
 

Hệ phún xạ cahode (sputter 105)

Hệ bốc bay chân không (balzer)

Hệ nẫu mẫu hồ quang

Từ kế mẫu rung (VSM)

Hệ từ trường xung

Thiết bị đo từ điện trở

Hệ đo đặc trưng pin

Thiết bị nghiền bi kiểu hành tinh

Thiết bị rây hạt

Thiết bị sinh khí H2

Máy ép

Hệ đo sức bền vật liệu
 

Các thiết bị phục vụ mảng nghiên cứu vật liệu composite, vật liệu gốm

Hệ nẫu mẫu dùng hồ quang

Thiết bị nghiền bi kiểu hành tinh

Thiết bị rây hạt

Thiết bị nén

Hệ đo sức bền vật liệu

Các thiết bị tại phòng kỹ thuật

                   Thiết bị tạo Nitơ khí sạch

                   Thiết bị tạo Nitơ lỏng

                   Thiết bị tạo không khí sạch

                   Các thiết bị hàn dùng Argon, thiết bị gia công thuỷ tinh, ...

Các thiết bị tại ITMS còn có thể sử dụng kết hợp làm tăng hiệu quả khai thác máy. Ngoài các thiết bị đã kể trên còn nhiều thiết bị khác với nhiều ứng dụng khác nhau. Để biết thêm chi tiết xin liên hệ: mtuan@itims.edu.vn; nvtoan@itims.edu.vn.

Copyright @ ITIMS 2001

No 1, Dai Co Viet Str, Hanoi University of Technology